光栅传感器是如何进行测距的
首先我们来看看,什么是光栅传感器?
光栅传感器是指利用光栅莫尔条纹原理来测量位移的传感器。
光栅传感器由四部分组成:直尺光栅、指示光栅、光路系统和测量系统。当标尺光栅相对于指示光栅移动时,它会形成大致呈正弦曲线分布的明暗莫尔条纹。
光栅是由大量等宽等间距的平行狭缝组成的光学器件。常用的光栅是通过在玻璃板上雕刻大量平行刻线而制成的。刻痕是不透明的部分,两个刻痕之间的光滑部分可以透光,相当于一条缝。精制的光栅在1cm宽度内有数千甚至数万个缺口。
这种利用透射光衍射的光栅称为透射光栅,也有利用两凹口之间反射光衍射的光栅。例如,在表面刻有许多平行的凹口并带有金属层,两个凹口之间的光滑金属表面可以反射光线,这种光栅就变成了反射光栅。光栅形成的莫尔条纹具有光学放大和平均误差效应,可以提高测量精度。
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